日安机器故障排除评注，55 个案例，经卷内容（至目录）' 说明：
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目录 备忘录
- 01 消除旋转轴承的轴向异响
- 02 负载过大导致小型电机轴承损坏
- 03 离心力导致轴承损坏
- 04 受热元件的固定螺钉松动
- 05 齿轮固定螺丝松动
- 06 齿轮和旋转轴因摩擦力固定而松动
- 07 用于真空的 ICF 法兰安装错误导致轴承损坏
- 08 隔振台上静压旋转空气轴承驱动轴的轴承损坏
- 09 高精度主轴轴承腐蚀，导致旋转精度降低。
- 10 如何为真空应用选择轴承
- 11 损坏布里包线
- 12 真空传送台驱动力传送柔性接头
- 13 用于驱动旋转移动平台的导线接头刚度不足。
- 14 真空中使用的万向接头故障
- 15 由于撞击导致测微头定位不良
- 16 使用压电元件作为驱动源的三轴精细移动平台移动轴的干涉。
- 17 真空中移动平台的真空外驱动 由于两轴干涉导致运动不畅
- 18 由于驱动螺杆的推力支撑不足而导致进给方向错误
- 19 连杆式输送机构的蜿蜒运动
- 20 由于同时安装两个内低段而造成装配缺陷
- 21 真空中的螺旋下降装置
- 22 限位开关在高温下的异常运行，原因是狗的形状不合适
- 23 驱动真空风箱的滚珠丝杠的制动
- 24 用套筒夹头固定石英轴造成的损坏
- 25 石英室固定法兰部分损坏
- 26 由于气缸同步故障，垂直运动机构运行异常。
- 27 气缸对负载的控制不佳
- 28 弹簧 U 型密封件的轴封结构旋转驱动力不足。
- 29 在力矩载荷作用下，杆套导向装置运行不良。
- 30 冷却水供应系统结构和 PT 螺纹（管道锥形螺纹） 加工问题
- 31 冷却水管接头漏水
- 32 滑动轴承等的温度变形导致运动不良。
- 33 车削后通过铣削和其他工序使工件变形
- 34 车削弯曲和钻小直径长孔
- 35 通过提高修整工具移动的精确度来修整研磨垫。
- 36 通过程序修整提高抛光垫的平整度
- 37 铣削甲基丙烯酸材料造成的损坏
- 38 板材真空钎焊引起的变形。
- 39 方形法兰真空钎焊缺陷
- 40 真空钎焊污染导致粘接不良
- 41 通过真空钎焊连接薄壁管道的同心缺陷。
- 42 焊接导致的真空法兰变形
- 43 真空容器的精度和焊接加工
- 44 不适合用作焊接真空容器材料的 SS 材料
- 45 管道内表面经过电抛光处理的 VCR 接头的焊接方法。
- 46 通过激光束焊接使钼销钉开裂。
- 47 网状电极的接缝焊接
- 48 由于不锈钢锻件和拉挤材料的材料缺陷造成的泄漏。
- 49 金丝造成真空密封不良
- 50 通过真空密封辊上的刀痕防止漏气 满载
- 51 用塑料管切割器切割流道中的异物
- 52 分钟冷却管烘烤造成的泄漏
- 53 烤箱护套加热器泄漏。
- 54 电抛光表面的清洁性能不足
- 55 铝材料真空室防腐处理产生的划痕。
最后
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上图