今日は 「サブミクロンとは何か。サブミクロンオーダーの説明」 についてのメモです。
サブミクロン
先日から光学系の設計案件をしていてお客様より「サブミクロン」であったり「サブミクロンオーダー」というキーワードを多く聞きますので、ここにサブミクロンオーダーなどの意味を纏めようと思います。
サブミクロンとは
サブミクロンとは、1ミクロンメートルの1/10です。よって1ミリメートルの1000分の1です。
1.0mm
0.1mm（1/10）
0.01mm（1/100）
0.001mm（1/1000）
0.0001mm (1/10000) ←ここ
０.１μｍということ になります。
サブミクロンの「サブ」の意味
サブは、ラテン語由来の英語の接頭辞で「下」「次」などを意味するのでサブミクロンは「ミクロンメートルの下位」ということになります。
一般的な使い方では、サブミクロンは0.1μｍ台の0.7～0.9μｍ程度を指す場合もあるよう です。
サブミクロンオーダーはその名の通り注文される寸法精度のこと
オーダーの意味は「秩序、順序、命令、注文」とされるので、サブミクロンオーダーとは光学系においてよく利用されるキーワードになります。ここでの「オーダー」とは、位（くらい）を意味します。
ミクロンオーダーであれば「1μｍ（一桁）程度位」ということ になり、 サブミクロンオーダーであれば「0.1μｍ単位」を要求されているということ になります。
以上です。